FLEXIBLE PENETRATING CORTICAL MULTIELECTRODE ARRAYS, SENSOR DEVICES AND MANUFACTURING METHODS

• Main Authors: DAYEH, SHADI A, LEE, SANG HEON, AZZAZY, FARID
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.02.2016
• Subjects: DIAGNOSIS; HUMAN NECESSITIES; HYGIENE; IDENTIFICATION; MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; SURGERY

A preferred conformal penetrating multi electrode array includes a plastic substrate that is flexible enough to conform to cortical tissue. A plurality of penetrating semiconductor micro electrodes extend away from a surface of the flexible substrate and are stiff enough to penetrate cortical tissue. Electrode lines are encapsulated at least partially within the flexible substrate and electrically connected to the plurality of penetrating semiconductor microelectrodes. The penetrating semiconductor electrodes preferably include pointed metal tips. A preferred method of fabrication permits forming stiff penetrating electrodes on a substrate that is very flexible, and providing electrical connection to electrode lines within the substrate. Un réseau multiélectrode pénétrant conforme préféré comprend un substrat en plastique qui est assez souple pour s'adapter au tissu cortical. Une pluralité de microélectrodes à semi-conducteurs pénétrantes s'étendent depuis une surface du substrat souple et sont assez rigides pour pénétrer dans le tissu cortical. Des lignes d'électrodes sont encapsulées au moins en partie à l'intérieur du substrat souple et connectées électriquement à la pluralité de microélectrodes à semi-conducteurs pénétrantes. Les électrodes à semi-conducteurs pénétrantes comportent, de préférence, des extrémités en métal pointues. Un procédé de fabrication préféré permet la formation d'électrodes pénétrantes rigides sur un substrat qui est très souple, et la réalisation d'une connexion électrique aux lignes d'électrodes à l'intérieur du substrat.