MEMBER PROVIDED WITH ELECTRICALLY CONDUCTIVE PROTECTIVE COATING FILM, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

• Main Authors: NAGASAWA, DAISUKE, KOMOTO, TOMOHIRO, YAMAGUCHI, TAKAYUKI, HIRATSUKA, MASANORI, KITA, HIROAKI, NAKAMORI, HIDEKI, TAKASAWA, REIKO, ASAKURA, MIKIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.05.2015
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Provided are: a member which is provided with a protective coating film having all of high hardness, excellent abrasion resistance and good electrical conductivity, can be used in devices for manufacturing precise electronic parts and the like, and does not undergo the occurrence of scratching, warpage or electrostatic charging during the storage and conveyance of the product; and a method for manufacturing the member. The present invention provides a member in which an electrically conductive protective coating film is provided on the surface of a metallic substrate, said member being characterized in that the electrically conductive protective coating film comprises diamond-like carbon having a thickness of 0.1 to 3.0 μm, a refractive index (n) of 1.5 to 2.3 as determined by a spectroscopic ellipsometry method, an extinction coefficient (k) of 0.5 to 1.0, indentation hardness of 5000 to 20000 MPa, a specific wear rate of 10-15 m to 10-17 m2/N and a resistivity of 10 to 106 Ω·cm. L'invention porte sur : un élément qui est pourvu d'un film de revêtement protecteur ayant à la fois une dureté élevée, une excellente résistance à l'abrasion et une bonne conductivité électrique, qui peut être utilisé dans des dispositifs pour la fabrication de pièces électroniques précises et similaires et qui ne subit pas l'apparition de rayures, de gondolage ou de charges électrostatiques pendant le stockage et le transport du produit ; et un procédé de fabrication de l'élément. L'élément selon la présente invention, dans lequel un film de revêtement protecteur électroconducteur est disposé sur la surface d'un substrat métallique, est caractérisé en ce que le film de revêtement protecteur électroconducteur comprend du carbone sous forme de diamant amorphe ayant une épaisseur de 0,1 à 3,0 μm, un indice de réfraction (n), déterminé par une méthode d'ellipsométrie spectroscopique, de 1,5 à 2,3, un coefficient d'atténuation (k) de 0,5 à 1,0, une dureté par pénétration de 5000 à 20000 MPa, une vitesse d'usure spécifique de 10-15 m à 10-17 m2/N et une résistivité de 10 à 106 Ω·cm. 　高硬度、優れた耐摩耗性、及び良好な導電性を兼ね備えた保護被膜を有する部材であって、精密電子部品用製造装置等に用いられ、製品の保持及び運搬による、傷、たわみ、及び帯電を抑制可能な部材及びその製造方法を提供する。本発明は、金属基板の表面に導電性保護被膜を有する部材であって、導電性保護被膜は、膜厚が０．１～３．０μｍ、分光エプリソメトリ法を用いた測定における屈折率ｎが１．５～２．３、消衰係数ｋが０．５～１．０、インデンテーションハードネスが５０００～２００００ＭＰａ、比摩耗量が１０-15ｍ～１０-17ｍ2／Ｎ、抵抗率が１０～１０6Ω・ｃｍであるダイヤモンドライクカーボンであること、を特徴とする部材を提供する。