MINIATURIZED GAS SENSOR DEVICE AND METHOD

• Main Authors: MONDAL, SUVRA P, BIAGGI-LABIOSA, AZLIN M, HUNTER, GARY W, CHANG, CARL W, DUTTA, PRABIR K
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 18.09.2014
• Subjects: GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE; TESTING

Various embodiments of a gas sensor device and method of fabricating a gas sensor device are provided. In one embodiment a gas sensor device includes a base substrate, an electrolyte layer disposed on the base substrate and a plurality of potentiometric sensor units electrically coupled to the base substrate. Each potentiometric sensor unit includes an electrolyte layer disposed on the base substrate, a sensing electrode comprising tungsten oxide (WO3)and platinum (Pt), a reference electrode comprising Pt, and a plurality of connectors coupled to the plurality of potentiometric sensors to connect the plurality of potentiometric sensors in series. L'invention concerne divers modes de réalisation d'un dispositif capteur de gaz et un procédé de fabrication d'un dispositif capteur de gaz. Selon un mode de réalisation, un dispositif capteur de gaz comprend un substrat de base, une couche d'électrolytes disposée sur le substrat de base et une pluralité d'unités de capteurs potentiométriques électriquement couplée au substrat de base. Chaque unité de capteur potentiométrique comprend une couche d'électrolytes disposée sur le substrat de base, une électrode de détection comprenant de l'oxyde de tungstène (WO3) et du platine (Pt), une électrode de référence comprenant du Pt, et une pluralité de connecteurs couplés à la pluralité de capteurs potentiométriques pour connecter la pluralité de capteurs potentiométriques en série.