LITHOGRAPHIC APPARATUS

• Main Authors: VAN ASTEN, NICOLAAS, VAN AERLE, NICK, BAAS, GERARDUS, EURLINGS, MARKUS, BEIJSENS, ROLF, KOLESNYCHENKO, ALEKSEY, KLEEMANS, NIEK
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.01.2014
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; COLORIMETRY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

A collector module is disclosed comprising: a collector for collecting radiation generated by a radiation generating plasma, and for directing at least a portion of the generated radiation; a structure upstream of the focal point and extending at least partially around an expected position of a beam comprising the at least a portion of the collected radiation; a diffractive element being arranged to diffract infrared radiation that is reflected from the plasma formation location. When the plasma formation location is at an intended location, m = +1 diffracted infrared radiation is directed towards a first region of the structure. At m = -1 diffracted infrared radiation is directed towards a second region of the structure. Also disclosed is an infra-red detector with increased dynamic range obtained by providing a screen for forming an image of a hotspot and a camera directed on to the screen. The dynamic range of the detector is improved either by heating the screen such that a low intensity hotspot is raised above a camera threshold, or by dividing the image into multiple images of differing intensities. L'invention concerne un module collecteur comprenant : un collecteur permettant de recueillir des rayonnements produits par un plasma produisant des rayonnements, et d'orienter au moins une partie des rayonnements produits ; une structure en amont du foyer s'étendant au moins en partie autour d'une position escomptée d'un faisceau comprenant ladite partie des rayonnements recueillis ; un élément diffracteur étant agencé pour diffracter les rayonnements infrarouges qui sont réfléchis de l'emplacement de formation de plasma. Lorsque l'emplacement de formation de plasma est à un emplacement prévu, m = +1, les rayonnements infrarouges diffractés sont orientés vers une première région de la structure. A m = -1, les rayonnements infrarouges diffractés sont orientés vers une deuxième région de la structure. L'invention concerne aussi un détecteur infrarouge avec une gamme dynamique augmentée obtenu en fournissant un écran permettant de former une image d'un point chaud et une caméra pointée vers l'écran. La gamme dynamique du détecteur est améliorée soit en chauffant l'écran de façon qu'un point chaud de faible intensité soit intensifié au-dessus du seuil de la caméra, soit en divisant l'image en plusieurs images d'intensités différentes.