SOLID-STATE IMAGING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SOLID-STATE IMAGING DEVICE

• Main Author: NISHIMAKI, MAKIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.10.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a back-surface illuminated imaging device provided with phase difference pixels. Photodiodes (PD (21)) that accumulate signal charges, which are photoelectric conversions of incident light, are formed in a plurality of arrays on a light receiving layer (14), and a wiring layer (13) provided with electrodes (22) and wirings (23) that control the PDs (21) is formed to the rear of the light receiving layer (14) in the direction the incident light progresses. Inclined surfaces (29a, 29b) in which the directions of inclination form a symmetrical pair are provided, and a textured structure (28) in which these inclined surfaces (29a, 29b) are made to correspond to the PDs (21) is formed in the light receiving layer (14). The inclined surfaces (29a, 29b) make incident light having intensity corresponding to the angle of incidence incident to the PDs (21). La présente invention concerne un dispositif d'imagerie à rétro-éclairage comportant des pixels à différence de phase. Des photodiodes (21) qui accumulent des charges de signaux, qui sont des conversions photoélectriques de lumière incidente, sont formées dans une pluralité de réseaux sur une couche de réception de lumière (14), et une couche de câblage (13) pourvue d'électrodes (22) et de câblages (23) qui commandent les photodiodes (21) est formée à l'arrière de la couche de réception de lumière (14) dans la direction de progression de la lumière incidente. Le dispositif comprend des surfaces inclinées (29a, 29b) dans lesquelles les directions de l'inclinaison forment une paire symétrique, et on forme dans la couche de réception de lumière (14) une structure texturée (28) dans laquelle ces surfaces inclinées (29a, 29b) correspondent aux photodiodes (21). Les surfaces inclinées (29a, 29b) font que la lumière incidente ayant une intensité correspondant à l'angle d'incidence soit incidente par rapport aux photodiodes (21).