METHOD OF FABRICATING A PROBE DEVICE FOR A METROLOGY INSTRUMENT AND PROBE DEVICE PRODUCED THEREBY

• Main Authors: NAGLE, STEVEN, WANG, WEIJIE
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 09.07.2009
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

A method of producing a probe device 50 for a metrology instrument such as an AFM includes providing a substrate and forming a stock extending upwardly from the substrate. The stock 60 is preferably FIB milled to form a tip 76 of the probe device. The tip preferably has a high aspect ratio, with a height that is at least about 1 micron for performing critical dimension (e.g., deep trench) atomic force microscopy. The stock is preferably pedestal shaped having a distal end 68 that is substantially planar which can be machined into a tip in at least less than about 2 minutes. With the preferred embodiments, the FIB milling step can be completed in substantially fewer and less complicated steps than known techniques to produce a high aspect ratio tip suitable for DT-AFM in less than about one minute. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de sonde 50 destiné à un instrument de métrologie tel qu'un AFM. Ledit procédé consiste à fournir un substrat et à former un dépôt s'étendant vers le haut à partir du substrat. Le dépôt 60 est de préférence usiné au moyen d'un FIB (focused ion beam) pour réaliser une pointe 76 du dispositif de sonde. La pointe présente de préférence un rapport hauteur/largeur élevé, sa hauteur étant d'au moins environ 1 micron afin de réaliser de la microscopie à force atomique de dimension critique (par exemple une tranchée large). Le dépôt est de préférence en forme de piédestal possédant une extrémité distale 68 qui a une forme essentiellement plane qui peut être usinée en une pointe en un temps au moins inférieur à 2 minutes. Les modes de réalisation préférés montrent que l'étape d'usinage par FIB peut être réalisée en étapes essentiellement moins compliquées et moins nombreuses qu'avec les techniques connues pour produire une pointe de rapport hauteur/largeur élevé, qui convient à la DT-AFM, en moins d'une minute environ.