METHOD FOR OPERATING AN IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS

• Main Authors: FREIMANN, ROLF, DUESING, RUEDIGER, PHILIPPS, JENS, KALLER, JULIAN
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.12.2008
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

The present invention relates to a method of operating an immersion lithography apparatus comprising the steps of providing an immersion lithography apparatus comprising at least one optical element (2) and a lithography substrate (6), wherein a gap is located between the optical element and the lithography substrate, and providing an immersion liquid into the gap, wherein at least part of a surface of the optical element is in contact with the immersion liquid; and performing a cleaning process for removing a deposit formed on at least said part of the surface of the optical element by supplying a cleaning fluid (3) into the gap, wherein the cleaning is effected by a chemical reaction between a chemical species in said cleaning fluid and the deposit. Preferably, the chemical species is an oxidizing species and the chemical reaction is an oxidation. The invention is particularly useful when an immersion liquid is used which comprises a hydrocarbon or a fluorinated hydrocarbon. L'invention concerne un procédé d'utilisation d'un appareil lithographique par immersion qui consiste à utiliser un appareil lithographique par immersion comprenant au moins un élément optique et un substrat lithographique, un interstice étant situé entre l'élément optique et le substrat lithographique, et à introduire un liquide d'immersion dans l'interstice, au moins une partie d'une surface de l'élément optique étant en contact avec le liquide d'immersion; et à procéder à un nettoyage pour éliminer un dépôt formé sur au moins une partie de la surface de l'élément optique en introduisant un fluide de nettoyage dans l'espace, le nettoyage se faisant au moyen d'une réaction chimique entre une espèce chimique dans ledit fluide de nettoyage et le dépôt. De préférence, l'espèce chimique est une espèce oxydante et la réaction chimique est une oxydation. L'invention est particulièrement utile lorsqu'on utilise un liquide d'immersion qui renferme un hydrocarbure ou un hydrocarbure fluoré.