IMPURITY MEASURING METHOD AND DEVICE

• Main Authors: NUKAMI, TETSUYA, KURAMASU, YUKIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.12.2004
• Edition: 7
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

An impurity measuring device comprises a table (T) on which a sample (S) is placed with its fracture surface (h) upward, an illuminating means (7) for irradiating the fracture surface (h) with light (L) from a plurality of directions, an imaging means (10) for imaging the fracture surface (h) illuminated by the light (L), a dark and light coloring means for subjecting the imaged image to dark and light coloring, and a binarizing means for binarizing the image through comparison between the result of the dark and light coloring and a threshold value. Irradiating the fracture surface (h) with the light (L) from a plurality of directions ensures that the image obtained by imaging the fracture surface (h) is free from shading or optical irregularities due to minute irregularities in the fracture surface (h). Therefore, impurities in the sample (S) from the fracture surface (h) can be accurately detected by subjecting the image to dark and light coloring and binarization. L'invention concerne un dispositif de mesure de teneur en impuretés comprenant: une table (T) sur laquelle un échantillon (S) est placé, sa surface de rupture (h) dirigée vers le haut; un système d'éclairage (7) qui sert à éclairer la surface de rupture (h) avec une lumière (L) qui se propage dans une pluralité de directions; un système de représentation (10) qui sert à représenter la surface de rupture (h) éclairée par la lumière (L); un système de coloration en sombre et clair qui sert à appliquer à l'image représentée, une coloration en sombre et clair; et un système de binarisation qui sert à binariser l'image par comparaison entre le résultat de la coloration en sombre et clair et une valeur seuil. L'exposition de la surface de rupture (h) à la lumière (L) qui se propage dans une pluralité de directions, garantit que l'image obtenue par représentation de la surface de rupture (h), est dépourvue d'effets d'ombre et d'irrégularités optiques dus à de faibles irrégularités de la surface de rupture (h). Ainsi, les impuretés présentes dans l'échantillon (S) issu de la surface de rupture (h), peuvent être détectées de façon précise en appliquant à l'image une coloration en sombre et clair et une binarisation.