METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SILICON

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von hoch reinem Silizium, insbesondere für photovoltaische Verwendungszwecke, vorzugsweise zur Verwendung für die Waferfertigung, bei dem zur Siliziumgewinnung Silan thermisch zersetzt wird, das dadurch gekennzeichnet ist, dass gasförmiges Silan i...

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Bibliographic Details
Main Authors BJOERSETH, ALF, CECCAROLI, BRUNO, MAURITS, JAN, HUGO, FRANZ
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 11.03.2004
Edition7
Subjects
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
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