CHARGING NEUTRALIZER FOR FLOATING TRANSPORTATION DEVICE AND FLOATING TRANSPORTATION SYSTEM

• Main Authors: TSUJIMURA, MASAYUKI, KUSUHARA, MASAKI, TODA, MASAYUKI, YAGAI, MICHIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.02.2000
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

A charging neutralizer for a floating transportation device and a floating transportation system which can perfectly neutralize charging of a platy substrate charged by a gas impinging against the substrate when the substrate is kept floating by a gas jetted to the substrate and is moved, stopped, halted and changed in its direction while floating. Specifically, a charging neutralizer for a floating transportation device provided in the floating transportation device which transports a platy substrate while kept floating by a gas jetted from a plurality of jet holes (11) made in a transporting surface (1A), wherein provided are a grooved portion (first storing portion (31A), quartz sheet (31B), second storing portion (31C)) and a charging neutralizing portion (UV lamp (32), control unit (33)) provided in this grooved portion and adapted to output gas-ionizing electromagnetic waves from the grooved portion toward a transportation space above the transporting surface (1A). L'invention concerne un neutraliseur de charge pour dispositif de transport flottant et un système de transport flottant. Ce neutraliseur peut parfaitement neutraliser la charge d'un substrat en plaque chargé par un gaz venant le frapper, ce substrat étant alors maintenu en flottaison par un gaz projeté sur lui, et déplacé, arrêté et dévié pendant qu'il flotte. De façon spécifique, l'invention concerne un neutraliseur de charge destiné à un dispositif de transport flottant. Ce neutraliseur se trouve dans le dispositif de transport flottant qui transporte un substrat en plaque qui est maintenu en flottaison par un gaz projeté par une pluralités de trous de jet (11) ménagés dans une surface de transport (1A), le dispositif de transport comportant une partie rainurée (première partie de stockage (31A), feuille de quartz (31B), seconde partie de stockage (31C)), une partie de neutralisation de charge (lampe UV (32),unité de commande (33)) qui se trouve dans la partie rainurée et est conçue pour émettre des ondes électromagnétiques d'ionisation de gaz à partir de la partie rainurée et en direction d'un espace de transport situé au-dessus de la surface de transport (1A).