MAINFRAME OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

• Main Authors: MOREY, TRAVIS, WYATT, ADAM J, AMIR, OFER, RICE, MICHAEL R, KUCHAR, MICHAEL C
• Format: Patent
• Language: Chinese; English
• Published: 21.05.2022

【物品用途】;本設計請求具有視覺效果之基板處理系統的主要框架。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。