BULK ACOUSTIC RESONATOR

실시예에 따른 체적 음향 공진기는 기판 위에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극 위에 위치하는 압전층, 그리고 상기 압전층 위에 위치하는 제2 전극이 서로 중첩하는 공진부, 그리고 상기 공진부의 가장자리에 위치하는 삽입층을 포함할 수 있고, 상기 공진부는 중심부에 위치하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 가장자리에 위치하는 가장자리 영역을 포함할 수 있고, 상기 가장자리 영역은 상기 액티브 영역에서 멀어질수록 상기 제2 전극의 두께가 점차 변화하는 제1 가장자리 영역과 상기 삽입층의 일부분이 위치하는 제2 가장자리 영역을 포함할...

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Main Authors KIM TAEYOON, LIM CHANGHYUN, PARK YOON SOK, LEE TAEHUN, HAN WON, RYOU JEONG HOON
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 28.08.2024
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Summary:실시예에 따른 체적 음향 공진기는 기판 위에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극 위에 위치하는 압전층, 그리고 상기 압전층 위에 위치하는 제2 전극이 서로 중첩하는 공진부, 그리고 상기 공진부의 가장자리에 위치하는 삽입층을 포함할 수 있고, 상기 공진부는 중심부에 위치하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 가장자리에 위치하는 가장자리 영역을 포함할 수 있고, 상기 가장자리 영역은 상기 액티브 영역에서 멀어질수록 상기 제2 전극의 두께가 점차 변화하는 제1 가장자리 영역과 상기 삽입층의 일부분이 위치하는 제2 가장자리 영역을 포함할 수 있고, 상기 제1 가장자리 영역은 상기 액티브 영역과 상기 제2 가장자리 영역 사이에 위치할 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20230022886