MASK CASE MASK HANDLING AUTOMATION APPARATUS AND OPERATING METHOD THEREOF

• Main Authors: BYUN JAE SUNG, YU SANG YONG, KIM SANG MIN, JEONG YUN SONG, LEE HYUN WOO, CHANG JUN HYUK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.08.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

마스크 케이스, 마스크 핸들링 자동화 설비, 및 마스크 핸들링 자동화 설비의 동작 방법이 제공된다. 마스크 케이스는, 서로 마주보는 제1 측면과 제2 측면을 포함하는 제1 바디와, 제1 측면에 설치된 제1 레일과, 제2 측면에 설치된 제2 레일을 포함하고, 제1 레일은 제1 폭의 제1 부분과, 제1 부분과 연결되고 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 제2 부분을 포함하고, 제2 레일은 제3 폭의 제3 부분과, 제3 부분과 연결되고 제3 폭보다 큰 제4 폭을 갖는 제4 부분을 포함하는 하부 케이스, 하부 케이스와 분리 가능하게 형성되고,...