MASK CASE MASK HANDLING AUTOMATION APPARATUS AND OPERATING METHOD THEREOF

• Main Authors: BYUN JAE SUNG, YU SANG YONG, KIM SANG MIN, JEONG YUN SONG, LEE HYUN WOO, CHANG JUN HYUK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.08.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

마스크 케이스, 마스크 핸들링 자동화 설비, 및 마스크 핸들링 자동화 설비의 동작 방법이 제공된다. 마스크 케이스는, 서로 마주보는 제1 측면과 제2 측면을 포함하는 제1 바디와, 제1 측면에 설치된 제1 레일과, 제2 측면에 설치된 제2 레일을 포함하고, 제1 레일은 제1 폭의 제1 부분과, 제1 부분과 연결되고 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖는 제2 부분을 포함하고, 제2 레일은 제3 폭의 제3 부분과, 제3 부분과 연결되고 제3 폭보다 큰 제4 폭을 갖는 제4 부분을 포함하는 하부 케이스, 하부 케이스와 분리 가능하게 형성되고, 제1 측면에 대응되는 제3 측면과, 제2 측면에 대응되는 제4 측면을 포함하는 제2 바디와, 제3 측면에 형성되고 제1 부분에 대응되는 제3 레일과, 제4 측면에 형성되고 제3 부분에 대응되는 제4 레일을 포함하는 상부 케이스, 제1 레일 및 제3 레일을 따라 슬라이딩 가능하게 설치된 제1 슬라이딩 잠금 부재, 및 제2 레일 및 제4 레일을 따라 슬라이딩 가능하게 설치된 제2 슬라이딩 잠금 부재를 포함하고, 제1 슬라이딩 잠금 부재가 제1 레일의 제2 부분에 위치하고, 제2 슬라이딩 잠금 부재가 제2 레일의 제4 부분에 위치할 때, 상부 케이스와 하부 케이스는 분리되고, 제1 슬라이딩 잠금 부재가 제1 레일의 제1 부분 및 제3 레일에 위치하고, 제2 슬라이딩 잠금 부재가 제2 레일의 제3 부분 및 제4 레일에 위치할 때, 상부 케이스와 하부 케이스는 체결되고, 제1 슬라이딩 잠금 부재에는 제1 잠금 개폐 장치의 제1 핀이 결합되기 위한 제1 홀이 설치되어, 제1 잠금 개폐 장치에 의해 슬라이딩되고, 제2 슬라이딩 잠금 부재에는 제2 잠금 개폐 장치의 제2 핀이 결합되기 위한 제2 홀이 설치되어, 제2 잠금 개폐 장치에 의해 슬라이딩된다. A mask case includes a lower case including a first side surface and a second side surface opposite each other, a first rail on the first side surface, and a second rail on the second side surface, an upper case separable from the lower case, and includes third and fourth side surfaces corresponding to the first and second side surfaces, a third rail on the third side, and a fourth rail on the fourth side, a first sliding lock member slidable along the first and third rails, and a second sliding lock member slidable along the second and fourth rails, first and second holes for coupling first and second pins of first and second locking open and close devices are in the first and second sliding lock members, and the first and second sliding lock members are slid by the first and second locking open and close devices.