X X X-RAY TRANSMISSION INSPECTION DEVICE AND METHOD OF X-RAY TRANSMISSION INSPECTION

• Main Author: MATSUBARA SATOSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.08.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSIONOF CHEMICAL INTO ELECTRICAL ENERGY; TESTING

[과제] 조사 각도의 차이가 큰 투과상이 얻어지고, 이물 위치의 깊이를 높은 정밀도로 얻을 수 있는 X선 투과 검사 장치 및 X선 투과 검사 방법을 제공하는 것이다. [해결 수단] X선원(2)과, 투과 X선을 검출하는 X선 센서(3)와, X선원 및 X선 센서에 대하여 시료(S)를 상대적으로 이동시키는 이동 기구(4)와, 검출한 투과 X선에 의거하여 시료 중의 두께 방향에 있어서의 이물의 높이 위치를 산출하는 연산부(5)를 구비하고, X선원이, 시료의 두께 방향 및 시료의 반송 방향에 대하여 비스듬한 방향으로 X선을 조사하고, 이동 기구가, 시료를 제1 반송 방향(d1)으로 이동 가능함과 더불어, 시료를 제1 반송 방향과 역방향인 제2 반송 방향(d2)으로 이동 가능하고, 시료를 제1 반송 방향으로 이동시킬 때의 시료에 대한 X선의 조사 각도와, 시료를 제2 반송 방향으로 이동시킬 때의 시료에 대한 X선의 조사 각도를, X선원 및 X선 센서와 시료를 상대적으로 이동시켜 변경 가능하다. Proposed are an X-ray transmission inspection apparatus and an X-ray transmission inspection method, in which transmission images with large difference between irradiation angles are obtained so that the depth of the position of a foreign object can be obtained with high precision. The X-ray transmission inspection apparatus includes an X-ray source, an X-ray sensor configured to detect a transmitted X-ray, a moving mechanism configured to move the sample, and a calculation part configured to calculate a height position of a foreign object in a thickness direction in the sample, wherein the X-ray source performs irradiation with X-rays in a direction tilted with respect to the thickness direction of the sample and a transport direction of the sample, and the moving mechanism is capable of moving the sample in a first transport direction and in a second transport direction, and of changing X-ray irradiation angles.