Method and device for generating point spread function of scanning-transmission electron microscope
주사투과 전자현미경의 이미지 분해능을 높일 수 있는 최적의 점상강도 분포함수를 생성하는 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 점상강도 분포함수 생성방법은, 시료에 대한 스캔이미지 및 시료정보에 기초하여 생성된 가상이미지 간 비교를 통해 주사투과 전자현미경의 최적의 점상강도 분포함수를 생성할 수 있다....
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| Main Authors | , |
|---|---|
| Format | Patent |
| Language | English Korean |
| Published |
08.07.2024
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| Subjects | |
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| Abstract | 주사투과 전자현미경의 이미지 분해능을 높일 수 있는 최적의 점상강도 분포함수를 생성하는 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 점상강도 분포함수 생성방법은, 시료에 대한 스캔이미지 및 시료정보에 기초하여 생성된 가상이미지 간 비교를 통해 주사투과 전자현미경의 최적의 점상강도 분포함수를 생성할 수 있다. |
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| AbstractList | 주사투과 전자현미경의 이미지 분해능을 높일 수 있는 최적의 점상강도 분포함수를 생성하는 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 점상강도 분포함수 생성방법은, 시료에 대한 스캔이미지 및 시료정보에 기초하여 생성된 가상이미지 간 비교를 통해 주사투과 전자현미경의 최적의 점상강도 분포함수를 생성할 수 있다. |
| Author | YANG CHEOLWOONG KANG MIN CHUL |
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| Title | Method and device for generating point spread function of scanning-transmission electron microscope |
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