ACTUATOR TILT CONTROL DEVIDE POSITIONING DEVICE PROCESSING DEVICE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: NAKAJIMA RYUTA, YOSHIDA TATSUYA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 02.07.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; GENERATION; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

구동의 원활성을 높일 수 있는 액추에이터 등을 제공한다. 액추에이터(3)는, 고정부(5)와, 가동부(6)와, 가동부(6)를 고정부(5)에 대하여 구동방향(Z축방향)을 따라 구동하는 구동부(코일(54) 및 영구자석(65))와, 고정부(5)에 있어서 구동방향으로 뻗고, 당해 구동방향을 따른 구동부에 의한 가동부(6)의 구동을 안내하는 안내부(52)와, 가동부(6)와 안내부(52)의 사이에 기체를 공급하는 기체공급부(55)를 구비하며, 안내부(52)는, 구동방향시(Z축방향시)에 있어서, 가동부(6)의 중앙에 위치한다. 구동부는, 구동방향...