SEMICONDUCTOR DEVICE

• Main Authors: SONG DONG IL, KIM SEUNG HWAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.07.2024
• Subjects: ELECTRICITY

본 기술은 고집적화된 반도체 장치에 관한 것으로, 본 기술에 따른 반도체 장치는 한 쌍의 워드 라인 분리 슬릿; 상기 한 쌍의 워드 라인 분리 슬릿 사이에 배치되며, 수직하게 적층된 복수의 워드 라인을 포함하는 워드 라인 스택; 상기 워드 라인 분리 슬릿들 사이에 배치되며, 상기 워드 라인 스택을 서포팅하는 복수의 서포터들; 및 상기 워드 라인 스택에 전기적으로 접속된 콘택플러그들을 포함할 수 있다. A semiconductor device includes a pair of word line separation slits; a word line stack disposed between the pair of the word line separation slits and including a plurality of word lines that are vertically stacked; a plurality of supporters disposed between the word line separation slits and supporting the word line stack; and contact plugs electrically connected to the word line stack.