탈착가능 샤프트를 갖는 정전 척

• Main Author: PARKHE VIJAY D
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 26.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

플라즈마 프로세싱 챔버들을 위한 ESC(electrostatic chuck)들 및 ESC들을 제작하는 방법들이 설명된다. 일 예에서, 기판 지지 조립체는 냉각 최하부 플레이트, 세라믹 최상부 플레이트, 및 세라믹 최상부 플레이트와 냉각 최하부 플레이트 사이의 본드 층을 포함하며, 세라믹 최상부 플레이트는 본드 층과 직접 접촉하고, 그리고 본드 층은 냉각 최하부 플레이트와 직접 접촉한다. 탈착가능 샤프트가, 본드 층 반대편의, 냉각 최하부 플레이트의 면에서 복수의 볼트들에 의해 냉각 최하부 플레이트에 커플링된다. Electrostat...