PLASMA MONITORING SYSTEM

• Main Author: JEONG YUN SONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 25.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COLORIMETRY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

플라즈마 모니터링 시스템은, 반도체 기판 상에 플라즈마를 통해 반도체 공정을 수행하기 위한 플라즈마 공간을 제공하고, 상기 반도체 기판을 지지하기 위한 기판 스테이지 및 광학 윈도우를 갖는 측벽을 포함하는 챔버, 상기 기판 스테이지 상에 배치되고, 복수 개의 관통 홀들을 갖는 바디 및 상기 플라즈마로부터 상기 각각의 관통 홀들 상으로 입사된 광들을 수집하여 상기 광학 윈도우 상으로 전달하기 위한 복수 개의 광 수집기들을 갖는 광 수집 장치, 및 상기 광학 윈도우 상으로 조사된 상기 각각의 광들로부터 광 스펙트럼들을 획득하기 위한 분...