THE RF MATCHER FOR FAST MATCHING THE MULTI IMPEDANCE POWER

• Main Authors: UM KI CHUL, JU DON JUN, PARK HYOUNG YEAL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

본 발명은 2가지 이상의 임피던스를 사용하는 공정에서 임피던스 변화가 큰 경우 매칭 네트워크의 가변 캐패시터에 릴레이 스위치를 병렬 연결하여 기존보다 월등히 빠르게 임피던스 전환이 가능한 RF 정합장치에 관한 것이다.