샘플 측정 방법 및 그 방법을 실시하는 현미경

• Main Authors: NEUMANN JENS TIMO, AVISHAI AMIR, KORB THOMAS, KLOCHKOV DMITRY, FOCA EUGEN, LEE KEUMSIL
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

본 발명은 현미경으로 샘플(100)을 측정하는 방법(200)에 관한 것이며, 이 방법은 샘플(100)의 기울기(131, 132)를 측정하는 단계(S210), 기울기(131, 132)에 기초하여 샘플(100)의 배향을 수정하는 단계(S220), 샘플을 스캐닝하는 단계(S230)를 포함한다. The present invention relates to a method for measuring a sample with a microscope, the method comprising the steps of: measuring a tilt o...