APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES

신뢰성이 높은 실장을 실현하는 것이 가능한 반도체 제조 장치를 제공하기 위해, 예시적인 실시예들에 관한 반도체 제조 장치(10)는 칩(W1)을 유지하는 유지면(15)에 마련된, 기체를 분출하는 복수 개의 분출 홀들(BH)과 기체를 흡인하는 복수 개의 흡인 홀들(VH)을 갖는 픽업 헤드(11), 픽업 헤드(11)에 유지된 칩(W1)의 휨을 측정하기 위한 휨 측정부(2), 및 상기 측정된 칩(W1)의 휨에 따라, 복수 개의 분출 홀들(BH)로부터의 기체의 공급 유량과 복수 개의 흡인 홀들(VH)로부터의 흡인 유량 중 적어도 어느 하나를...

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Main Authors MOROISHI FUMITAKA, ISHIMOTO TATSUYA
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 10.06.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:신뢰성이 높은 실장을 실현하는 것이 가능한 반도체 제조 장치를 제공하기 위해, 예시적인 실시예들에 관한 반도체 제조 장치(10)는 칩(W1)을 유지하는 유지면(15)에 마련된, 기체를 분출하는 복수 개의 분출 홀들(BH)과 기체를 흡인하는 복수 개의 흡인 홀들(VH)을 갖는 픽업 헤드(11), 픽업 헤드(11)에 유지된 칩(W1)의 휨을 측정하기 위한 휨 측정부(2), 및 상기 측정된 칩(W1)의 휨에 따라, 복수 개의 분출 홀들(BH)로부터의 기체의 공급 유량과 복수 개의 흡인 홀들(VH)로부터의 흡인 유량 중 적어도 어느 하나를 제어하는 제어부(7)를 포함한다.
Bibliography:Application Number: KR20230003941