센서들을 이송 챔버 로봇에 결합하기 위한 방법들 및 메커니즘들

• Main Authors: CRIMINALE PHILLIP, UMMETHALA UPENDRA, MYLES ANDREW, SHAH VIVEK B, ZHANG CHUNLEI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; CONVEYING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

전자 디바이스 제조 시스템은 이송 챔버, 이송 챔버 내에 놓인 툴 스테이션, 이송 챔버에 결합된 프로세스 챔버, 및 이송 챔버 로봇을 포함한다. 이송 챔버 로봇은 기판들을 프로세스 챔버로 그리고 프로세스 챔버로부터 이송하도록 구성된다. 이송 챔버 로봇은 추가로 프로세스 챔버 내부에서 측정들을 수행하도록 구성된 하나 이상의 센서들을 포함하는 센서 툴에 결합되도록 구성된다. 센서 툴은 이송 챔버 로봇의 엔드 이펙터에 의해 툴 스테이션으로부터 리트리브 가능하다. An electronic device manufacturing system includes a transfer chamber, a tool station situated within the transfer chamber, a process chamber coupled to the transfer chamber, and a transfer chamber robot. The transfer chamber robot is configured to transfer substrates to and from the process chamber. The transfer chamber robot is further configured to be coupled to a sensor tool comprising one or more sensors configured to take measurements inside the process chamber. The sensor tool is retrievable from the tool station by an end effector of the transfer chamber robot.