이온화 진공 게이지용 챔버

• Main Authors: KAISER STEFAN, WALDNER ASTRID, WALCHLI URS, ANDREAUS BERNHARD, TREFZER MICHAEL, WUEST MARTIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 04.04.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

본 발명은 진공 압력 센서(40)의 플라즈마 발생 영역(42)을 경계짓는 챔버(11, 12, 13)에 관한 것으로, 챔버는 중심축(A)에 대하여 외부에 방사상으로 위치하는 전기 전도성 케이싱 요소(1, 1', 1'')를 포함하고, 챔버는 중심축에 실질적으로 수직으로 배열되고 케이싱 요소에 연결된 전기 전도성 벽 요소들(2, 2', 2'')을 포함하고, 벽 요소들 중 적어도 하나는 중심축(A)이 이를 통해 연장되는 제1 개구(3)를 갖고, 케이싱 요소는 적어도 제1 영역(B1) 및...