LASER PRODUCED PLASMA LIGHT SOURCE HAVING A TARGET MATERIAL COATED ON A CYLINDRICALLY-SYMMETRIC ELEMENT

• Main Authors: GARCIA RUDY, CHILESE FRANK, KURITSYN ALEXEY, AHR BRIAN, KHODYKIN OLEG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.04.2024
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; X-RAY TECHNIQUE

본 개시는, 드럼의 외부 표면 상에 코팅되는, 크세논(Xenon)과 같은 타겟 재료를 갖는 레이저 생성 플라즈마 광원에 관한 것이다. 실시형태는 LPP 챔버로의 오염 물질 및/또는 베어링 가스의 누출을 감소시키기 위한 구조체를 구비하는 드럼을 회전시키기 위한 베어링 시스템을 포함한다. 드럼 상의 타겟 재료를 코팅하고 보충하기 위한 주입 시스템이 개시된다. 드럼 상에 타겟 재료 표면을 준비하기 위한, 예를 들면, 타겟 재료 표면의 평활화를 위한 와이퍼 시스템이 개시된다. 드럼의 온도를 냉각 및 유지하기 위한 시스템 및 드럼 위에 놓이는 하우징이 또한 개시된다. The present disclosure is directed to laser produced plasma light sources having a target material, such as xenon, that is coated on the outer surface of a drum. Bearing systems rotate the drum that have structures for reducing leakage of contaminant material and/or bearing gas into the LPP chamber. Injection systems are disclosed for coating and replenishing target material on the drum. Wiper systems are disclosed for preparing the target material surface on the drum, e.g. smoothing the target material surface. Systems for cooling and maintaining the temperature of the drum and a housing overlying the drum are also disclosed.