MASKLESS EXPOSURE DEVICE AND DISPLAY DEVICE

• Main Authors: YUN SANG HYUN, SEO KAB JONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.02.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

마스크리스 노광 장치 및 표시 장치가 제공된다. 마스크리스 노광 장치는 노광 빔을 출사하는 광원, 노광 패턴에 따라 상기 노광 빔을 변조하는 광 변조소자, 변조된 상기 노광 빔을 빔 스팟 어레이 형태로 기판 상에 전달하는 광학계, 상기 빔 스팟 어레이와 상기 기판의 상대적인 위치 데이터를 생성하는 위치 판단부, 및 상기 위치 판단부의 상기 위치 데이터에 기초하여 상기 광 변조소자를 제어하는 제어부를 포함하되, 상기 빔 스팟 어레이는 서로 교번하여 배치되는 정렬 영역 및 정렬 외 영역, 상기 정렬 영역과 중첩하는 온오프 스팟 및 상기...