유기주석 화합물을 제조하는 방법

알킬 및 알킬아미노 또는 알킬 및 알콕시 치환기를 갖는 특정 유기주석 화합물을 제조하기 위한 용이한 방법이 제공된다. 상기 방법은, 예를 들어, 특정 마이크로전자 장치의 제조에 사용되는 극자외선광 (EUV) 리소그래피 기술에 있어서, 고순도 산화주석 막의 증착에 있어서 전구체로서 특히 유용한 고순도 형태의 유기주석 화합물을 제공한다. Provided is a facile methodology for preparing certain organotin compounds having alkyl and alkylamino or alkyl...

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Main Authors CAMERON THOMAS M, ERMERT DAVID M, BAUM THOMAS H
Format Patent
LanguageKorean
Published 14.09.2023
Subjects
ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
CHEMISTRY
METALLURGY
ORGANIC CHEMISTRY
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Summary:알킬 및 알킬아미노 또는 알킬 및 알콕시 치환기를 갖는 특정 유기주석 화합물을 제조하기 위한 용이한 방법이 제공된다. 상기 방법은, 예를 들어, 특정 마이크로전자 장치의 제조에 사용되는 극자외선광 (EUV) 리소그래피 기술에 있어서, 고순도 산화주석 막의 증착에 있어서 전구체로서 특히 유용한 고순도 형태의 유기주석 화합물을 제공한다. Provided is a facile methodology for preparing certain organotin compounds having alkyl and alkylamino or alkyl and alkoxy substituents. The process provides the organotin compounds in a highly pure form which are particularly useful as precursors in the deposition of high-purity tin oxide films in, for example, extreme ultraviolet light (EUV) lithography techniques used in the manufacture of certain microelectronic devices.
Bibliography:Application Number: KR20237028437