CLEANLINESS MONITOR AND A METHOD FOR MONITORING A CLEANLINESS OF A VACUUM CHAMBER

• Main Authors: RUACH NIR IRIT, EYTAN GUY, SCHULMAN MAGEN YAACOV, EILON MICHAL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 20.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터가 개시되어 있다. 청정도 모니터는 질량 분광계, 분자 응집 및 방출 유닛 및 분석기를 포함할 수 있다. 분자 응집 및 방출 유닛은 (a) 응집 기간 동안, 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고, (b) 방출 기간 동안 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성된다. 질량 분광계는 진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성되고; 여기서, 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 하위 세트의 존재를 나타낸다. 분석기는 검출 신호들에 기초하여 진공 챔버의 청정도를 결정하도록 구성된다. A cleanliness monitor for monitoring a cleanliness of a vacuum chamber. The cleanliness monitor may include a mass spectrometer, a molecule aggregation and release unit and an analyzer. The molecule aggregation and release unit is configured to (a) aggregate, during an aggregation period, organic molecules that are present in the vacuum chamber and (b) induce, during a release period, a release of a subset of the organic molecules towards the mass spectrometer. The mass spectrometer is configured to monitor an environment within the vacuum chamber and to generate detection signals indicative of a content of the environment; wherein a first subset of the detection signals is indicative of a presence of the subset of the organic molecules. The analyzer is configured to determine the cleanliness of the vacuum chamber based on the detection signals.