압력 센서 그룹 작동 방법

• Main Authors: ENDERES ROLF, BERG CHRISTIAN, ANDREAUS BERNHARD, WUEST MARTIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.06.2023
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

본 발명은 압력 센서 그룹을 동작시키는 방법(100)으로, 상기 그룹은 제1 압력 측정 범위를 갖는 제1 압력 센서 및 제2 압력 측정 범위를 갖는 제2 압력 센서를 적어도 포함하고, 제1 및 제2 압력 센서는 공통 측정 부피에서 압력을 측정할 수 있는 방식으로 배열되며, 제1 압력 측정 범위 및 제2 압력 측정 범위는 중첩 압력 측정 범위에서 중첩되며, 방법은 aa) 공통 측정 부피의 압력이 중첩 압력 측정 범위에 있는 동안, 제1 압력 센서의 제1 측정 신호 및 제2 압력 센서의 제2 측정 신호를 실질적으로 동시에 판독(101)하는 단계; bb) 판독된 제1 측정 신호를 제2 압력 센서에 대한 조정 포인트로 규정하는 단계(102); cc) 제1 측정 신호의 함수로서, 단계 bb)에서 규정된 바와 같은 조정 포인트의 함수로서, 및 제2 측정 신호의 함수로서 제2 압력 센서에 대한 적어도 하나의 보정 파라미터, 특히 가스 의존 보정 파라미터를 결정하는 단계(103)를 포함하는, 방법(100)에 관한 것이다. 본 발명은 또한 진공 공정 플랜트를 작동하기 위한 방법, 방법을 수행하기 위한 장치 및 컴퓨터 프로그램 제품에 관한 것이다. A method for operating a group of pressure sensors is provided. First and second pressure sensors respectively have first and second pressure measurement ranges, and are arranged to measure the pressure in a common measurement volume, and have measurement ranges that overlap in a range. The method comprises: aa) reading out first and second measurement signals respectively from the first and second pressure sensors substantially simultaneously while the pressure in the common measurement volume is in the overlapping range; bb) stipulating the first measurement signal which has been read out as the adjustment point for the second pressure sensor; cc) determining at least one calibration parameter, in particular a gas-dependent calibration parameter, for the second pressure sensor as a function of the first measurement signal, as a function of the adjustment point for the second pressure sensor, as stipulated in bb), and as a function of the second measurement signal.