RESISTIVITY PROBE HAVING MOVABLE NEEDLE BODIES

• Main Authors: CUI JIANLI, SHI BIN (ZHUBIN), YOU HAIYANG (OCEAN), ZHANG ZHUOXIAN, ZHU NANCHANG, SHI JIANOU, YU LU, JOHNSON WALTER H, LIU XIANGHUA, ZHANG FAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.06.2023
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

집적 회로들을 테스트하기 위해 저항성 프로브가 사용될 수 있다. 일 예시에서, 저항성 프로브는 다수의 비아들 및 다수의 금속핀들을 갖는 기판을 갖는다. 금속핀들 각각은 비아들 중 하나 내에 배치된다. 금속핀들은 기판의 외측으로 연장된다. 상호연결부들은 금속핀들에의 전기적 연결을 제공한다. 다른 예시에서, 저항성 프로브는 최상면을 갖는 기판 및 기판으로부터 연장되는 다수의 엘리먼트들을 갖는다. 엘리먼트들 각각은, 엘리먼트들 각각이 기판의 최상면에 비평행하도록, 기판으로부터 상기 엘리먼트의 팁까지 굴곡진다. Resistivity probes can be used to test integrated circuits. In one example, a resistivity probe has a substrate with multiple vias and multiple metal pins. Each of the metal pins is disposed in one of the vias. The metal pins extend out of the substrate. Interconnects provide an electrical connection to the metal pins. In another example, a resistivity probe has a substrate with a top surface and multiple elements extending from the substrate. Each of the elements curves from the substrate to a tip of the element such that each of the elements is non-parallel to the top surface of the substrate.