초음파 샤워 세정 장치

본 발명은 세정액에 초음파 진동을 인가하여 세정하는 초음파 샤워 세정 장치에 관한 것으로, 초음파 진동을 효율 좋게 유로의 세정액에 인가하여, 세정액을 확산시키지 않고 피세정물에 스팟 형상, 라인 형상으로 조사 가능한 것을 과제로 하고, 초음파 진동이 인가된 세정액(75)을 통하여 피세정물(77)을 세정하는 초음파 샤워 세정 장치(1)로서, 세정액이 공급되는 급액구(16), 급액구로부터 연속되는 세정액이 흐르는 유로(48), 유로의 일부를 구성하여 세정액에 초음파 진동을 인가하는 진동체(20), 유로로부터 세정액이 토출되는 토출구(...

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Main Authors HIRANO KOSUKE, IMAZEKI YASUHIRO
Format Patent
LanguageKorean
Published 31.05.2023
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