다결정 실리콘 과립의 제조 방법

• Main Authors: GOTTANKA MICHAEL, KOENINGER BENEDIKT, HERTLEIN HARALD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 17.03.2023
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMISTRY; COMPOUNDS THEREOF; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; NON-METALLIC ELEMENTS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

본 발명은 유동층 반응기 내에서 다결정 실리콘 과립을 제조하는 방법으로서, 유동층 영역에서 연속적으로 공급되는 시드 입자는 기체 흐름에 의해 유동층에서 유동화되고, 상기 유동층 영역은 가열 장치로 가열되고, 수소와 실란 및/또는 할로실란을 포함하는 공급 가스 스트림의 공급이 상기 시드 입자에 실리콘 원소를 증착시켜 다결정 실리콘 과립을 형성하게 하고, 연속 공정에서 상기 실리콘 과립은 생성물 스트림으로서 상기 유동층 반응기로부터 배출되고, 반응 변수로서 상기 유동층의 온도 Tws는 균형 앰빗 Ⅰ 및/또는 균형 앰빗 Ⅱ의 질량 및 에...