진공 펌프 및 제어 장치

• Main Author: FUKAMI HIDEO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.03.2023
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; WEAPONS

[과제] 진공 펌프의 상태 정보가 적절한 타이밍에 수집되는 진공 펌프 및 제어 장치를 얻는다. [해결 수단] 제어 장치(200)에 있어서, 제어부(201, 202, 204)는, 진공 펌프 본체에 배치된 내부 디바이스(모터(121), 히터, 냉각 밸브 등)의 동작 상태를 제어한다. 정보 수집부(207)는, 진공 펌프 본체의 상태 정보를 수집하고, 기록 처리부(208)는, 정보 수집부(207)에 의하여 수집된 상태 정보를 불휘발성 메모리(209)에 기록한다. 그리고, 정보 수집부(207)는, 제어부(201, 202, 204)에 의하여 내부 디바이스의 동작 상태가 전환된 타이밍에 진공 펌프 본체의 상태 정보를 수집한다. A vacuum pump and a controller are provided with which state information of the vacuum pump is collected in a timely manner. In a controller, control portions control operating states of internal devices (such as a motor, a heater, and a cooling valve) located in a vacuum pump main body. An information collection portion collects the state information of the vacuum pump main body, and a recording processing portion records, in the non-volatile memory, the state information collected by the information collection portion. Also, the information collection portion collects the state information of the vacuum pump main body at a point in time at which a control portion switches the operating state of an internal device.