APA (7th ed.) Citation

ELISABETH, S. M. G., KOOS, V. B., & SEBASTIAAN, D. V. (2023). 리소그래피 생산 공정에서의 사용을 위한 열 민감성 요소 및 디바이스의 열-기계적 제어를 위한 방법.

Chicago Style (17th ed.) Citation

ELISABETH, SCHNEIDERS MAURITIUS GERARDUS, VAN BERKEL KOOS, and DOLK VICTOR SEBASTIAAN. 리소그래피 생산 공정에서의 사용을 위한 열 민감성 요소 및 디바이스의 열-기계적 제어를 위한 방법. 2023.

MLA (9th ed.) Citation

ELISABETH, SCHNEIDERS MAURITIUS GERARDUS, et al. 리소그래피 생산 공정에서의 사용을 위한 열 민감성 요소 및 디바이스의 열-기계적 제어를 위한 방법. 2023.