다중 격실 전기화학 보충 셀
전기도금 시스템들은 전기도금 챔버를 포함할 수 있다. 시스템들은 또한, 전기도금 챔버와 유체적으로 연결된 보충 조립체(replenish assembly)를 포함할 수 있다. 보충 조립체는 양극 재료(anode material)를 수용하는 제1 격실(compartment)을 포함할 수 있다. 제1 격실은 음극 재료가 수용된 제1 격실 섹션 및 디바이더(divider)에 의해 제1 격실 섹션으로부터 분리된 제2 격실 섹션을 포함할 수 있다. 보충 조립체는, 전기도금 챔버와 유체적으로 연결되고 제1 격실과 전기적으로 연결된 제2 격실을...
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Format | Patent |
Language | Korean |
Published |
28.02.2023
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