기판 극단 에지 보호를 위한 링

• Main Authors: SCHWARZ BENJAMIN, WILLWERTH MICHAEL D, SCHMID ANDREAS, KUMAR PRABHAT, MATHEW GRACE, MITHUN ADITI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 27.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 개시내용의 실시예들은 기판을 프로세싱하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. 장치는 링 조립체를 갖는다. 링 조립체는 에지 링 및 섀도우 링을 갖는다. 에지 링은 링 형상의 본체를 갖는다. 에지 링 본체는 최상부면 및 최하부면을 갖는다. 핀 홀들이 에지 링 본체를 통해 최상부면으로부터 최하부면까지 연장된다. 섀도우 링은 링 형상의 본체를 갖는다. 섀도우 링 본체는 상부면과 하부면을 갖는다. 소켓들이 하부면 상에 형성되고, 섀도우 링 본체의 소켓들은 에지 링 본체의 핀 홀들과 정렬된다. Embodiments of the present disclosure provide a method and an apparatus for processing a substrate. The apparatus has a ring assembly. The ring assembly has an edge ring and a shadow ring. The edge ring has a ring shaped body. The edge ring body has a top surface and a bottom surface. Pin holes extend through the edge ring body from the top surface to the bottom surface. The shadow ring has a ring shaped body. The shadow ring body has an upper surface and a lower surface. Sockets are formed on the lower surface, wherein the sockets in the shadow ring body align with the pin holes in the edge ring body.