METASURFACES WITH ASYMMETRIC GRATINGS FOR REDIRECTING LIGHT AND METHODS FOR FABRICATING

• Main Authors: HILAIRE PIERRE ST, MELLI MAURO, LIN DIANMIN, POLIAKOV EVGENI YURIY, PEROZ CHRISTOPHE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 13.02.2023
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION

광학 시스템은 복수의 유닛 셀들을 포함하는 격자를 포함하는 메타표면(metasurface)을 포함하는 광학적으로 투과성 기판을 포함한다. 각각의 유닛 셀은 제1 폭을 가진 측방향으로 세장형의 제1 나노빔(nanobeam); 및 갭에 의해 제1 나노빔으로부터 이격된 측방향으로 세장형의 제2 나노빔을 포함하고, 제2 나노빔은 제1 폭보다 더 큰 제2 폭을 가진다. 유닛 셀들의 피치는 10 nm 내지 1 μm이다. 제1 나노빔 및 제2 나노빔의 높이들은, 기판의 굴절률이 3.3 초과인 경우 10 nm 내지 450 nm; 및 굴절률이 3.3 또는 그 미만인 경우 10 nm 내지 1 μm이다. An optical system comprises an optically transmissive substrate comprising a multilevel metasurface which comprises a grating comprising a plurality of multilevel unit cells. Each unit cell comprises, on a lowermost level, a laterally-elongated first lowermost level nanobeam having a first width and a laterally-elongated second lowermost level nanobeam having a second width larger than the first width. Each unit cell further comprises, on an uppermost level, a laterally-elongated first uppermost level nanobeam above the first lowermost level nanobeam and a laterally-elongated second uppermost level nanobeam above the second lowermost level nanobeam.