집속 빔을 처리하기 위한 웨이퍼 스캐닝 장치 및 방법
스캐닝 시스템은 스캐닝 챔버, 이 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제1 회전 구동부; 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 회전 구동부와 동기적으로 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제2 회전 구동부; 및 스캐닝 챔버에 배치되고 기판 홀더에 기계적으로 결합된 바-힌지 시스템으로서, 바-힌지 시스템은 제1 회전 구동부와 제2 회전 구동부의 회전 운동을 기판 홀더의 평면 운동으로 변환하도록 구성된, 바-힌지 시스템을 포함한다. A method of scanning a wafer includes placing th...
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Main Authors | , , |
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Format | Patent |
Language | Korean |
Published |
06.01.2023
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Subjects | |
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Abstract | 스캐닝 시스템은 스캐닝 챔버, 이 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제1 회전 구동부; 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 회전 구동부와 동기적으로 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제2 회전 구동부; 및 스캐닝 챔버에 배치되고 기판 홀더에 기계적으로 결합된 바-힌지 시스템으로서, 바-힌지 시스템은 제1 회전 구동부와 제2 회전 구동부의 회전 운동을 기판 홀더의 평면 운동으로 변환하도록 구성된, 바-힌지 시스템을 포함한다.
A method of scanning a wafer includes placing the wafer over a substrate holder inside a processing chamber, where the wafer is placed at a first twist angle relative to a reference axis of a rotatable feedthrough of the processing chamber. The method further includes performing a first pass scan by exposing the wafer to an ion beam while driving two rotary drives disposed in a scanning chamber synchronously to generate a planar motion of the wafer from a rotational motion of the two rotary drives, where the wafer is oriented continuously at the first twist angle when performing the first pass scan. |
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AbstractList | 스캐닝 시스템은 스캐닝 챔버, 이 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제1 회전 구동부; 스캐닝 챔버에 배치되고 제1 회전 구동부와 동기적으로 제1 축을 중심으로 회전하도록 구성된 제2 회전 구동부; 및 스캐닝 챔버에 배치되고 기판 홀더에 기계적으로 결합된 바-힌지 시스템으로서, 바-힌지 시스템은 제1 회전 구동부와 제2 회전 구동부의 회전 운동을 기판 홀더의 평면 운동으로 변환하도록 구성된, 바-힌지 시스템을 포함한다.
A method of scanning a wafer includes placing the wafer over a substrate holder inside a processing chamber, where the wafer is placed at a first twist angle relative to a reference axis of a rotatable feedthrough of the processing chamber. The method further includes performing a first pass scan by exposing the wafer to an ion beam while driving two rotary drives disposed in a scanning chamber synchronously to generate a planar motion of the wafer from a rotational motion of the two rotary drives, where the wafer is oriented continuously at the first twist angle when performing the first pass scan. |
Author | GWINN MATTHEW NEGROTTI JERRY CONSOLI PAUL |
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