PROCESS WINDOW BASED ON DEFECT PROBABILITY
방법이 본원에서 설명된다. 방법은 (i) 특징부의 파라미터의 측정들, (ii) 패턴화 프로세스의 프로세스 변수에 관련된 데이터, (iii) 파라미터의 측정들 및 프로세스 변수에 관련된 데이터에 기초하여 프로세스 변수의 함수로서 정의된 파라미터의 함수 거동, (iv) 특징부의 실패율의 측정들, 및 (v) 프로세스 변수의 설정에 대한 프로세스 변수의 확률 밀도 함수를 획득하기 위한 단계, 변환 함수에 기초하여, 프로세스 변수의 확률 밀도 함수를 파라미터의 확률 밀도 함수로 변환하기 위한 단계 - 변환 함수는 프로세스 변수의 함수에 기초...
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Format | Patent |
Language | English Korean |
Published |
14.09.2022
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