METHOD TO CREATE A FREE-STANDING MEMBRANE FOR BIOLOGICAL APPLICATIONS

• Main Authors: OHNO KENICHI, KRAUS PHILIP ALLAN, HESABI ZOHREH, VORA ANKIT, JOHNSON JOSEPH R
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 06.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING; TRANSPORTING

잘 제어된 나노포어들을 방향성 자가 조립을 사용하여 제조하는 방법들 및 독립 멤브레인들을 선택적 식각을 사용하여 제조하는 방법들이 개시된다. 일 양상에서, 이후에 박막으로 전사되는 피쳐의 임계 치수를 축소시키기 위한 블록 공중합체들을 이용한 방향성 자가 조립에 의해 하나 이상의 나노포어가 형성된다. 다른 양상에서, 방법은, 기판의 고도로 식각가능한 층 위에 박막을 갖는 기판을 제공하는 단계, 하나 이상의 나노포어를, 예를 들어, 포어 직경 감소 프로세스에 의해, 고도로 식각가능한 층 위의 박막을 통해 형성하는 단계, 및 그 다음, 얇은 독립 멤브레인을 형성하기 위해, 하나 이상의 나노포어 아래의 고도로 식각가능한 층의 부분을 선택적으로 제거하는 단계를 포함한다. Methods of manufacturing well-controlled nanopores using directed self-assembly and methods of manufacturing free-standing membranes using selective etching are disclosed. In one aspect, one or more nanopores are formed by directed self-assembly with block co-polymers to shrink the critical dimension of a feature which is then transferred to a thin film. In another aspect, a method includes providing a substrate having a thin film over a highly etchable layer thereof, forming one or more nanopores through the thin film over the highly etchable layer, for example, by a pore diameter reduction process, and then selectively removing a portion of the highly etchable layer under the one or more nanopores to form a thin, free-standing membrane.