TRANSISTOR ARRANGEMENTS WITH STACKED TRENCH CONTACTS AND GATE STRAPS

• Main Authors: WALLACE CHARLES HENRY, PARK CHANGYOK, HARAN MOHIT K, RYU HYUK JU, BOUCHE GUILLAUME, WEI ANDY CHIH HUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.06.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

서로의 위쪽에 적층된 2개의 부분 - 제1 트렌치 콘택 및 제2 트렌치 콘택 - 을 갖는 트렌치 콘택들을 갖는 트랜지스터 배열체들이 본 명세서에 개시된다. 이러한 트랜지스터 배열체들은, 트랜지스터의 소스 또는 드레인 콘택 위에 제1 트렌치 콘택을 형성하고, 제1 트렌치 콘택을 리세싱하고, 제1 트렌치 콘택 위에 제2 트렌치 콘택을 형성하고, 마지막으로, 제2 트렌치 콘택에 자기-정렬되면서 제2 트렌치 콘택으로부터 전기적으로 격리되는 게이트 콘택을 형성함으로써 제조될 수 있다. 이러한 제조 프로세스는, 트렌치 및 게이트 콘택들을 형성...