고침 렌즈 유닛 및 반도체 검사 장치

• Main Authors: MAO XIANGGUANG, ARATA IKUO, NAKAMURA TOMONORI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.06.2022
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

고침 렌즈 유닛은, 고침 렌즈와, 고침 렌즈를 요동 가능하게 유지하는 홀더를 구비한다. 고침 렌즈는, 제1 재료에 의해 형성된 제1 렌즈부와, 제1 재료의 굴절률보다도 작은 굴절률을 가지는 제2 재료에 의해 형성되고, 제1 렌즈부에 결합된 제2 렌즈부를 갖는다. 제1 렌즈부는, 관찰 대상물에 맞닿는 맞닿음면과, 볼록 모양의 제1 구면을 포함한다. 제2 렌즈부는, 제1 구면과 마주하는 오목 모양의 제2 구면과, 대물 렌즈와 마주하도록 배치되는 볼록 모양의 제3 구면을 포함한다. 홀더는, 제3 구면과 접촉 가능하게 구성된 접촉부를 가지고 있다. A solid immersion lens unit includes a solid immersion lens and a holder for swingably holding the solid immersion lens. The solid immersion lens includes a first lens portion formed of a first material, and a second lens portion formed of a second material having a refractive index smaller than a refractive index of the first material and coupled to the first lens portion. The first lens portion includes a contact surface for contacting with an observation object and a convex first spherical surface. The second lens portion includes a concave second spherical surface facing the first spherical surface and a convex third spherical surface to be disposed to face an objective lens. The holder has a contact portion configured to be contactable with the third spherical surface.