라멜라의 제작 방법, 해석 시스템 및 시료의 해석 방법

해석부(11)와, 해석부(11)로부터 이간되도록 설치된 절삭부(12)를 갖는 라멜라(10)를 제작한다. 복수의 라멜라(10)를 라멜라 그리드(20)에 반송하는 경우, 복수의 라멜라(10)는, 기체(21)의 표면으로부터 돌출된 지지부(22)에 의해서 유지되고, Z 방향에 있어서 인접해서 탑재된다. 이때, 절삭부(12)에 의해서, 해석부(11)가 손상을 받는 것을 억제한다. A lamella 10 including an analysis portion 11 and a cutout portion 12 separated from the an...

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Main Authors NOMAGUCHI TSUNENORI, SAWADA ATSUSHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 03.06.2022
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Summary:해석부(11)와, 해석부(11)로부터 이간되도록 설치된 절삭부(12)를 갖는 라멜라(10)를 제작한다. 복수의 라멜라(10)를 라멜라 그리드(20)에 반송하는 경우, 복수의 라멜라(10)는, 기체(21)의 표면으로부터 돌출된 지지부(22)에 의해서 유지되고, Z 방향에 있어서 인접해서 탑재된다. 이때, 절삭부(12)에 의해서, 해석부(11)가 손상을 받는 것을 억제한다. A lamella 10 including an analysis portion 11 and a cutout portion 12 separated from the analysis portion 11 is produced. When a plurality of the lamellae 10 are transported to a lamella grid 20, the plurality of lamellae 10 are supported by a support portion 22 protruding from a surface of a substrate 21, and are mounted adjacent to each other in a Z direction. At this time, the cutout portion 12 prevents the analysis portion 11 from damage.
Bibliography:Application Number: KR20227014384