공작물을 가공하기 위한 방법

• Main Authors: KAISER MYRIAM, KUMKAR MALTE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 05.04.2022
• Subjects: CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

본 발명은 공작물(1)을 가공하기 위한 방법에 관한 것으로, 레이저 방사선을 이용해서 인접한 복수의 개질물(2)을 공작물(1)의 재료 내로 도입하는 단계, 레이저 방사선에 의해 개질된 재료를 대부분 제거하기 위해, 제1 선택도를 갖는 제1 에칭 공정에서 공작물(1)의 재료를 에칭하는 단계 및, 제1 에칭 공정의 완료 후에, 제거된 개질된 재료 사이에 남아 있는 웨브를 제거하기 위해, 제1 선택도와 다른 제2 선택도를 갖는 제2 에칭 공정에서 공작물(1)의 재료를 에칭하는 단계를 포함한다. The present invention relates to a method for machining a workpiece, comprising the steps of introducing a plurality of adjacent modifications into the material of the workpiece by means of laser radiation, etching the material of the workpiece in a first etching operation with a first selectivity, in order to remove predominantly the material modified by the laser radiation, and, after completion of the first etching operation, etching the material of the workpiece in a second etching operation with a second selectivity, different from the first selectivity, in order to remove the webs left between the removed modified material.