분리 장치 및 분리 방법

• Main Authors: NAKANO SEIJI, KAWAGUCHI YOSHIHIRO, YAMAWAKI YOHEI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

처리 대상체를 제 1 분리체와 제 2 분리체로 분리하는 분리 장치로서, 상기 제 1 분리체를 유지하는 제 1 유지부와, 상기 제 2 분리체를 유지하는 제 2 유지부와, 상기 제 1 유지부와 상기 제 2 유지부를 상대적으로 이동시키는 이동부와, 적어도 상기 제 1 분리체의 분리면 또는 상기 제 2 분리체의 분리면을 세정하는 분리면 세정부를 가진다. A separating apparatus configured to separate a processing target object into a first separation body and a second separation body includes a first holder configured to hold the first separation body; a second holder configured to hold the second separation body; a moving unit configured to move the first holder and the second holder relatively to each other; and a separation surface cleaning unit configured to clean at least a separation surface of the first separation body or a separation surface of the second separation body.