통합형 히터를 갖는 챔버 리드

본원에서 설명되는 구현들은 챔버 리드 조립체를 제공한다. 일 실시예에서, 챔버 리드 조립체는 프로세싱 챔버의 경계를 형성하는 유전체 바디에 내장된 히터를 포함하며, 여기서, 히터는 독립적으로 제어되는 하나 이상의 가열 구역들을 갖는다. Implementations described herein provide a chamber lid assembly. In one embodiment, a chamber lid assembly includes a heater embedded in a dielectric body forming a bou...

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Main Authors SCHWARZ BENJAMIN, LUDWIG JEFFREY, WILLWERTH MICHAEL D, COTLEAR ROBERTO CESAR
Format Patent
LanguageKorean
Published 24.05.2021
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:본원에서 설명되는 구현들은 챔버 리드 조립체를 제공한다. 일 실시예에서, 챔버 리드 조립체는 프로세싱 챔버의 경계를 형성하는 유전체 바디에 내장된 히터를 포함하며, 여기서, 히터는 독립적으로 제어되는 하나 이상의 가열 구역들을 갖는다. Implementations described herein provide a chamber lid assembly. In one embodiment, a chamber lid assembly includes a heater embedded in a dielectric body forming a boundary of a processing chamber, wherein the heater has one or more heating zones that are independently controlled.
Bibliography:Application Number: KR20217014069