주 연장 평면을 갖는 기판을 포함한 요레이트 센서, 그리고 요레이트 센서를 위한 제조 방법

• Main Authors: KUHLMANN NILS FELIX, LASSL ANDREAS, KUEHNEL MATTHIAS, NEUL REINHARD, DEGENFELD SCHONBURG PETER, BODE NIELS, KUHLMANN BURKHARD, LIEWALD JAN TIMO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 06.07.2020
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 주 연장 평면(100, 200)을 갖는 기판을 포함하는 요레이트 센서(1)에 관한 것이며, 상기 요레이트 센서(1)는 회전 요소 어셈블리(10, 20)를 포함하고, 회전 요소 어셈블리(10, 20)는 기판의 제1 주 연장 축(100)에 인가되는 요레이트, 및 제1 주 연장 축(100)에 대해 수직인, 기판의 제2 주 연장 축(200)에 인가되는 요레이트를 검출하도록 형성되는, 상기 요레이트 센서에 있어서, 상기 요레이트 센서는, 요레이트 센서(1)가 센서 장치(40)를 포함하고, 센서 장치(40)는 기판의 주 연장 평면(100, 200)에 대해 수직으로 인가되는 요레이트를 검출하도록 형성되며, 센서 장치(40)뿐만 아니라 회전 요소 어셈블리(10, 20) 역시도 하나의 구동 장치(30)에 의해 구동될 수 있으며, 구동 장치(30)는 제1 주 연장 축(100)을 따르는 구동 이동을 수행하도록 형성되는 것을 특징으로 한다. A yaw-rate sensor with a substrate having a main extension plane. The yaw-rate sensor includes a rotation-element assembly, the rotation-element assembly being designed for detecting yaw rates prevailing in a first main extension axis of the substrate and yaw rates prevailing in a second main extension axis of the substrate perpendicular to the first main extension axis. The yaw-rate sensor has a sensor assembly, the sensor assembly being designed for detecting a yaw rate prevailing perpendicular to the main extension plane of the substrate, both the sensor assembly and the rotation-element assembly being drivable with the aid of a drive assembly, the drive assembly being designed for driving movement along the first main extension axis.