유량 제어 장치

• Main Authors: HIRATA KAORU, KAWADA KOJI, SUGITA KATSUYUKI, IKEDA NOBUKAZU, NISHINO KOUJI, DOHI RYOUSUKE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.05.2020
• Subjects: CONTROLLING; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

유량 제어 장치(100)는 유로에 설치된 압력 제어 밸브(6)와, 압력 제어 밸브의 하류측에 설치된 유량 제어 밸브(8)와, 압력 제어 밸브의 하류측 또한 유량 제어 밸브의 상류측의 압력을 측정하는 제 1 압력 센서(3)를 구비하고, 유량 제어 밸브는 밸브 시트(12)에 이착좌하는 밸브체(13)와, 밸브체를 이착좌시키기 위해서 밸브체를 이동시키기 위한 압전 소자(10b)와, 압전 소자의 측면에 설치된 변형 센서(20)를 갖고, 제 1 압력 센서(3)로부터 출력되는 신호에 의거하여 압력 제어 밸브(6)를 제어하고, 변형 센서(20)로부터 출력되는 신호에 의거하여 유량 제어 밸브(8)의 압전 소자의 구동을 제어하도록 구성되어 있다. A flow rate control device (100) comprises: a pressure control valve (6) provided in a flow path; a flow rate control valve (8) provided downstream side of the pressure control valve; and a first pressure sensor (3) for measuring pressure on the downstream side of the pressure control valve and on the upstream side of the flow rate control valve. The flow rate control valve has a valve element (13) seated on/separated from a valve seat (12); a piezoelectric element (10b) for moving the valve element so as be seated on/separated from the valve seat; and a strain sensor (20) provided on a side surface of the piezoelectric element. The pressure control valve (6) is configured to control the pressure control valve (6) on the basis of a signal output from the first pressure sensor (3), and to control the driving of the piezoelectric element of the flow rate control valve (8) based on a signal output from the strain sensor (20).