진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터 및 방법

• Main Authors: RUACH NIR IRIT, EYTAN GUY, SCHULMAN MAGEN YAACOV, EILON MICHAL
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.03.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터가 개시되어 있다. 청정도 모니터는 질량 분광계, 분자 응집 및 방출 유닛 및 분석기를 포함할 수 있다. 분자 응집 및 방출 유닛은 (a) 응집 기간 동안, 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고, (b) 방출 기간 동안 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성된다. 질량 분광계는 진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성되고; 여기서, 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 하위 세트의 존재...